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COMET
HEXA-Con(ヘキサコンシリーズ)



●60MHz対応ハイパワー
   可変容量真空コンデンサ

  • 高周波(60MHz超)、ハイパワー用モデル
  • 特別設計のベローズにより大電流、長寿命、高自己共振周波数を実現
  • ハイパワー用途に水冷タイプをラインナップ
  • 堅牢な構造、標準化されたフランジを装備
  • 高精度の容量曲線データを提供可能

■用途    :     ハイパワー半導体製造装置ほか


■外形寸法

■HEXA-Conシリーズカタログ(PDF:183kB)


■モデル表

型 番 Cmin
[pF]
Cmax
[pF]
電圧
Upt[kV]
電流
[A](rms)
冷却方式 旧番号 ステータス
CVHE-80AC/25-AAAB-A1 8 80 25 72 空冷 CV1C-80HL
CVHE-80AC/25-BEAA 8 80 25 72 空冷 CV1C-80HD
CVHE-80AC/25-AAAA-A 8 80 25 72 空冷 CV1C-80H
CVHE-80AC/25-BEAA-AF 8 80 25 72 空冷 -
CVHE-80AC/25-BEAA-F 8 80 25 72 空冷 CV1C-80HD/2503
CVHE-80AW/25-AAAA-A 8 80 25 72 水冷 CV1W-80H
CVHE-200AC/15-AAAB-A1 12 200 15 108 空冷 CV1C-200HL
CVHE-200AC/15-BEAA 12 200 15 108 空冷 CV1C-200HD
CVHE-200AC/15-AAAA-A 12 200 15 108 空冷 CV1C-200H
CVHE-200AC/15-BEAA-AF 12 200 15 108 空冷 -
CVHE-200AC/15-BEAA-F 12 200 15 108 空冷 CV1C-200HD/1503
CVHE-200AW/15-AAAA-A 12 200 15 108 水冷 CV1W-200H
CVHE-330AC/10-BEAA-CF 25 330 10 119 空冷 CV1C-330HDE
CVHE-500AC/15-BEAA-A 50 500 15 152 空冷 -

 

ステータス欄凡例:

推奨モデル  

スタンダードモデル  

旧式モデル  


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