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●50kWクラス水冷パワーモデル 可変真空コンデンサ
- 50kW級FPD製造装置用ハイパワーモデル
- 常用周波数範囲:2MHz〜40MHz
- ベローズと駆動機構の長寿命化を実現
- 冷却効率に優れた水冷方式
■用途
- フラットパネル(LCD/FPD)製造装置
- 半導体製造装置(ハイパワー用途)
■外形寸法

■HIPER-Conシリーズカタログ(PDF:270kB)
■モデル表
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