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●ミニサイズ10ターン高速対応 可変容量真空コンデンサ
- ミディコンを小型化、〜5kWミドルパワーモデル
- 小型・堅牢な形状で低インダクタンスを実現
- 少ない回転数で、Cmin〜Cmaxの容量調整が高速化
- 取付フランジ標準装備
- 常用周波数: DC〜27MHz
■用途
: 半導体製造装置ほか
■外形寸法

■MINI-Conシリーズカタログ(PDF:244kB)
■モデル表
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