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●50kWクラス水冷パワーモデル 可変真空コンデンサ
- 50kW級FPD製造装置用ハイパワーモデル
- 常用周波数範囲：2MHz〜40MHz
- ベローズと駆動機構の長寿命化を実現
- 冷却効率に優れた水冷方式
■用途
- フラットパネル（LCD/FPD）製造装置
- 半導体製造装置（ハイパワー用途）
■外形寸法
■HIPER-Conシリーズカタログ（PDF：270kB）
■モデル表
| 型 番 |
Cmin
[pF] |
Cmax
[pF] |
電圧
Upt[kV] |
電流
[A](rms) |
冷却方式 |
ステータス |
| CVHI-350A |
20 |
350 |
40 |
300 |
水冷 |
 |
| CVHI-500A |
50 |
500 | "
50 |
300 |
水冷 |
 |
| CVHI-1000A |
100 |
1000 |
20 |
300 |
水冷 |
|
| CVHI-1500A |
150 |
1500 |
15 |
300 |
水冷 |
|
| CVHI-2000A |
200 |
2000 |
15 |
300 |
水冷 |
|
| CVHI-2500A |
200 |
2500 |
15 |
300 |
水冷 |
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ステータス欄凡例:
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推奨モデル |
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スタンダードモデル |
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