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 真空コンデンサのコメット

70年以上にわたる超真空技術は世界標準 
世界各国にサービス拠点を置き、抜群の信頼性 
半導体、有機EL、ソーラー、液晶、分析機器から核融合まで 
COMET
POWER-Con
(パワーコンシリーズ)



●超小型水冷10kWクラスパワーモデル
   可変容量真空コンデンサ

  • 10kWまでのハイパワーを取扱可能な高性能モデル
  • 常用周波数範囲:2MHz〜60MHz
  • 堅牢な構造に、標準化されたフランジを装備


■用途

  • フラットパネル(LCD/FPD)製造装置
  • 半導体製造装置(ハイパワー用途)

■外形寸法

■POWER-Conシリーズカタログ(PDF:400kB)


■モデル表

型 番 Cmin
[pF]
Cmax
[pF]
電圧
Upt[kV]
電流
[A](rms)
冷却方式 旧番号 ステータス
CVPO-100AC/15-BEAA 12 100 15 54 空冷 CV1C-100R
CVPO-100AC/15-CSP 12 100 15 54 空冷 CV1C-100RP
CVPO-150AC/15-BEAA 50 150 15 81 空冷 CV1C-150H
CVPO-150AC/15-CSP 50 150 15 81 空冷 CV1C-150G
CVPO-250AC/10-BEAA 50 250 10 90 空冷 CV05C-250R
CVPO-250AC/10-CSP 50 250 10 90 空冷 CV05C-250RP
CVPO-300AW/15-BECA-L 30 300 15 116 水冷 CV1W-300EN
CVPO-300AW/15-BECB-L 30 300 15 116 水冷 -
CVPO-500AC/15-BECA-L 80 500 15 118 空冷 CV1C-500C
CVPO-500AC/15-BECB-L 80 500 15 118 空冷 -
CVPO-500AC/15-BEC-L 80 500 15 118 空冷 CV1C-500S
CVPO-500BC/15-BECA 50 500 15 123 空冷 CV1C-500ZMN
CVPO-500BC/15-BECA-1 50 500 15 123 空冷 CV1C-500ZN
CVPO-500BC/15-BECB 50 500 15 123 空冷 -
CVPO-500BC/15-BECB-1 50 500 15 123 空冷 -
CVPO-500BC/15-BUCA 50 500 15 123 空冷 CV1C-500ZMNL
CVPO-500BC/15-BUCB 50 500 15 123 空冷 -
CVPO-500BW/15-AACA-A 70 500 15 129 水冷 CV1W-500IN
CVPO-500AW/15-BECA-L 80 500 15 129 水冷 CV1W-500GN
CVPO-500AW/15-BECB-L 20 500 15 129 水冷 -
CVPO-500AW/15-BEC-L 80 500 15 129 水冷 CV1W-500F
CVPO-500BW/15-BECA 50 500 15 131 水冷 CV1W-500ZN
CVPO-500BW/15-BECA-1 80 500 15 131 水冷 CV1W-500HN
CVPO-500BW/15-BECB 50 500 15 131 水冷 -
CVPO-500BW/15-BECB-1 80 500 15 131 水冷 -
CVPO-530AC/5-CSP 80 530 5 143 空冷 CV05C-530G
CVPO-530AC/10-BEAA 80 530 10 143 空冷 CV05C-530H
CVPO-1000AC/5-BECA 100 1000 5 127 空冷 CV05C-1000LMN
CVPO-1000AC/5-BECA-1 100 1000 5 127 空冷 CV05C-1000LN
CVPO-1000AC/5-BECB 100 1000 5 127 空冷 -
CVPO-1500BC/5-BECA 30 1500 5 105 空冷 CV05C-1500PMN
CVPO-1500BC/5-BECA-1 30 1500 5 105 空冷 CV05C-1500PN
CVPO-1500BC/5-BECB 30 1500 5 105 空冷 -
CVPO-1500BC/5-BECB-1 30 1500 5 105 空冷 -
CVPO-1500BW/5-AACA-A 90 1500 5 131 水冷 CV05W-1500PNV
CVPO-1500AW/5-BECA-L 30 1500 5 131 水冷 CV05W-1500FN
CVPO-1500AW/5-BECB-L 30 1500 5 131 水冷 -
CVPO-1500BW/5-BECA 30 1500 5 131 水冷 CV05W-1500PN
CVPO-1500BW/5-BECB 30 1500 5 131 水冷 -
CVPO-2000BC/5-BECA-L 150 2000 5 114 空冷 CV05C-2000MN
CVPO-2000BC/5-BECB-L 150 2000 5 114 空冷 -
CVPO-2000BC/5-BEC-L 300 2000 5 114 空冷 CV05C-2000M
CVPO-2000AW/5-AACA-A 300 2000 5 131 水冷 CV05W-2000IN
CVPO-2000AW/5-BECA 300 2000 5 131 水冷 CV05W-2000GN
CVPO-2000BW/5-BECA-L 300 2000 5 131 水冷 CV05W-2000FN
CVPO-2000BW/5-BECB-L 300 2000 5 131 水冷 -
CVPO-2000BW/5-BEC-L 300 2000 5 131 水冷 CV05W-2000E

 

ステータス欄凡例:

推奨モデル  

スタンダードモデル  


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