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 真空コンデンサのコメット


70年以上にわたる超真空技術は世界標準 
世界各国にサービス拠点を置き、抜群の信頼性 
半導体、有機EL、ソーラー、液晶、分析機器から核融合まで 
COMET
SUPRA-Con
(スープラコンシリーズ)



●100kWクラス水冷パワーモデル  可変真空コンデンサ

  • 100kW級FPD製造装置用ハイパワーモデル
  • 常用周波数範囲:1MHz〜40MHz
  • ベローズと駆動機構の長寿命化を実現
  • 冷却効率に優れた水冷方式

■用途

  • フラットパネル(LCD/FPD)製造装置
  • 半導体製造装置(ハイパワー用途)

■外形寸法

■SUPRA-Conシリーズカタログ(PDF:100kB)


■モデル表

型 番 Cmin
[pF]
Cmax
[pF]
電圧
Upt[kV]
電流
[A](rms)
冷却方式 ステータス
CVSU-250AW 25 250 60 450 水冷
CVSU-500AW 50 500 55 450 水冷
CVSU-750AW 75 750 40 450 水冷
CVSU-1000AW 100 1000 25 450 水冷
CVSU-2000AW 200 2000 25 450 水冷
CVSU-2500AW 250 2500 20 450 水冷
CVSU-3000AW 300 3000 15 450 水冷
CVSU-5000AW 500 5000 10 450 水冷

 

ステータス欄凡例:

推奨モデル  

スタンダードモデル  


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